●	世界最小のピエゾ抵抗型３軸加速度センサーを開発
	当社のキーテクノロジーであるマイクロマシン技術と各種要素技術を集約し、世界最小容量０．０４０ｃｃ・高感度０．５ｍＶ／Ｇ／Ｖのピエゾ抵抗型３軸加速度センサーを開発した。
	１）開発経緯
		自動車分野や産業機器分野を中心に使用されてきた加速度センサーも、家電機器や携帯機器（携帯端末やＰＤＡ等）の多機能化、又、アミューズメント商品（電子ペットロボット）への応用等、新たなマーケット創出に伴い、基本となる傾きや動作状態を３軸同時検出し、その情報の収集と制御を行うため、更にあらゆる環境に対応する必要性より、小型・軽量・高性能の３軸加速度センサーの開発がマーケットニーズとなっている。 その背景から当社では、十数年来より半導体圧力センサーにより培われたマイクロマシン技術を基に、薄膜形成技術・パッケージ技術といった当社保有の各種要素技術を融合させ、高水準のパフォーマンスを有する世界最小・最軽量の３軸加速度センサーの開発に成功した。（関連特許８件出願中） 今後のブロードバンド時代に適したひとつの情報源として、先進性能商品群への採用に期待は大きい。
	２）特徴
		３軸（Ｘ、Ｙ、Ｚ軸）方向の動的加速度（振動、衝撃等）及び静的加速度（傾き、重力加速度）同時検出が可能 小型・薄型・軽量による高密度実装が可能 パッケージサイズ：５．２×５．６×１．３５ｍｍ 　　　　　　　　０．０４０ｃｃを実現！	パッケージ外観
	３）仕様
		動作温度範囲 ：０〜７０℃ 定格加速度　　：±２Ｇ　 ブリッジ抵抗 　：２５ｋΩ 出力感度 　　　：０．３ｍＶ／Ｇ／Ｖ以上（１Ｇ、１Ｖあたりの出力感度） 応答周波数　　：ＤＣ〜１００Ｈｚ 耐衝撃性　　　 ：３０００Ｇ以上
	４）用途
		家電、映像機器の傾斜・振動モニター 携帯端末機器用ナビゲーションモニター 電子ペット、ゲーム等のモーションセンサー セキュリティ用としての傾斜・振動モニター	センサーチップ外観

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